C6 Reinraum-Energiekette mit Führungssystem e-spin

Automatisierter Wafer-Transport in Reinräumen

In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte – von der Lithografie über das Ätzen bis hin zur Dotierung und Metallisierung. Diese Prozesse finden in unterschiedlichen Anlagen statt, die oft räumlich weit voneinander entfernt sind. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Stattdessen übernehmen automatisierte Materialtransportsysteme (AMHS – Automated Material Handling Systems) den sicheren und effizienten Transport der Wafer-Kassetten (FOUPs – Front Opening Unified Pods) über lange Strecken. Eine bewährte Lösung ist der Overhead Hoist Transport (OHT) – ein schienengeführtes Transportsystem, das die FOUPs über Kopf bewegt und dabei Reinraumflächen optimal nutzt.

Neben dem Transport ist auch die Lagerung in sog. Stockern extrem wichtig. Diese Systeme stellen hohe Anforderungen an die Energie- und Datenversorgung. Sie benötigen zuverlässige Energieführungen für: die Stromversorgung der OHT-Einheiten, die Datenübertragung (z. B. Ethernet, Sensorik), die sichere Kabelführung in dynamischen und oft beengten Reinraumumgebungen.