Reinraumtauglich auf langem Weg

Energiekettenserie C6 mit Reinraum-Führungssystem

Neuartige Reinraumlösung für Verfahrwege bis zu 30 Meter

Die neue Variante der C6-Reinraumenergiekette mit revolutionärem Führungssystem ermöglicht es Herstellern, die Vorteile kompakter und langlebiger Energieketten für die Energie- und Datenführung auch auf sehr langen Verfahrwegen in der Produktion innerhalb eines Reinraums zu nutzen.

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Technik verbessern

Innovative Reinraumlösung mit besonderer Führung, sodass auch auf langem Weg kaum Partikel entstehen

Kosten senken

Sichere Strom- und Datenversorgung ohne weitere Partikelemission auf langen Transportwegen in einem System

Beweise

Komplettsystem mit 8 Metern vom Fraunhofer IPA mit ISO-Klasse 4 zertifiziert. Sowohl mit als auch ohne Rinne

Nachhaltigkeit

Höherer Produktionsertrag durch Partikel-Reduktion schont Ressourcen

Lösung für die Herausforderung „lange Wege im Reinraum“

Automatisierter Wafer-Transport in Reinräumen

In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte – von der Lithografie über das Ätzen bis hin zur Dotierung und Metallisierung. Diese Prozesse finden in unterschiedlichen Anlagen statt, die oft räumlich weit voneinander entfernt sind. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Eine bewährte Lösung ist der Overhead Hoist Transport (OHT) – ein schienengeführtes Transportsystem, das die FOUPs über Kopf bewegt und dabei Reinraumflächen optimal nutzt. Neben dem Transport ist auch die Lagerung in sogenannten Stockern extrem wichtig. Diese Systeme stellen hohe Anforderungen an die Energieführung: Die Leitungen für die Stromversorgung der OHT-Einheiten und die Datenübertragung müssen in dynamischen und oft beengten Reinraumumgebungen zuverlässig geführt werden - dafür bietet igus jetzt eine innovative neue Lösung.

Abriebarm und ISO-zertifiziert durch das Fraunhofer IPA
Zuverlässig bei langen Verfahrwegen
Modular und wartungsarm – ideal für den Einsatz in hochautomatisierten Reinraumumgebungen

Energiekettenserie C6 für Reinraumanwendungen

Höchste Reinraumeignung, kaum Abrieb, hohe Stabilität

Abriebfestigkeit ist der entscheidende Parameter bei Energieketten-Anwendungen im Reinraum. Die Energiekette der Serie C6 setzt hier Maßstäbe. Der Abrieb ist kaum messbar. Besser geht es kaum: Auch bei hoher Beanspruchung lässt sich bei der neuen Reinraum-Energiekette C6 kein Abrieb messen. Weitere Vorteile sind ein extrem leiser Lauf und eine einfache Montage.