Energieketten, Leitungen und Lagertechnik für die Halbleiterindustrie

Halbleiterhersteller sind um hohe Produktivitätsraten bemüht. Entsprechend wichtig ist die Gesamtanlageneffektivität (GAE), die sich mit Lösungen von igus erhöhen lässt. Unsere Energieführungen und Leitungen für den Reinraumbereich unterstützen eine hohe Fertigungsqualität, da sie aus Hochleistungskunststoffen bestehen, die abriebfest sind und eine geringe Ausgasung haben. Sie sind kompakt, wartungsarm, montagefreundlich und kostengünstig. Zudem modular konzipiert, sodass Anlagenbetreiber jederzeit Erweiterungen vornehmen können. Zum Einsatz kommen unsere Produkte, welche weltweit die GAE in der Halbleiter-Industrie erhöhen, unter anderem in Maschinen und Anlagen für die Laserbeschriftung, die EUV-Lithografie und die automatische optische Inspektion (AOI).

Ausgewählte Produkte für die Halbleiterindustrie

Flaches Kabelführungssystem e-skin flat und CFCLEAN Verseilgebilde

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Kostenloses Flachbandkabel e-skin flat bestellen

Sie interessieren sich für unser sauberes Flachbandkabel e-skin flat, möchten dieses aber für eine endgültige Entscheidung gerne in den Händen halten, um einen bestmöglichen Eindruck zu erhalten?
Dann können Sie gerne bei uns ein kostenloses Muster bestellen.

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Zweiteilige Wellrohre

Reinraumtauglich nach IPA ISO Klasse 1
Zweiteilig, bestehend aus Ober- und Unterschale
Schnelle Montage durch Reißverschluss-Öffnungsprinzip
Für schnelle, kurze freitragende Anwendungen.

e-skin Wellrohre

e-kette für hohe Dynamik

Reinraumtauglich nach IPA ISO Klasse 1
Optimiertes Design ohne messbaren Abrieb
Besonders leiser Lauf
Seitenteile aus ESD-Material verhindern statische Aufladung

e-kette C6

Leitungen im Reinraum

Mit hochabriebfesten Mantelwerkstoffen
Garantierte Lebensdauer von 20 Mio. Hüben bei einem Radius von 70 mm
Die Kombination aus CFCLEAN und e--skin flat ist zertifiziert Reinraum Klasse 1

Reinraum-Leitungen

Trockenlaufende Linearführungen

Keine Schmierung oder Wartung
Für den Einsatz in Reinräumen der ISO-Klasse 6 bis 3 zertifiziert
Besonders leiser Lauf

drylin Linearführungen

Drehkranzlager für geringste Parikelemissionen

Einbaufertiges Drehkranzlager für den schmiermittelfreien Trockenlauf
Wartungsfreie Gleitelemente mit geringer Partikelemission
Ringen aus leichtem anodisiertem Aluminium

Drehkranzlager PRT-04

Schmier- und wartungsfreie Kugellager

Kugellager aus Hochleistungskunststoffen für den reibungsarmen Trockenlauf
Rund 50 % günstiger und leichter als herkömmliche Kugellager aus Edelstahl

xiros Kugellager

Schmierfreie Spindellinearachsen

Schmierfreie Linearmodule mit Spindelantrieb
Konstruiert für eine minimale Partikelemission
Zertifiziert nach ISO-Klasse 4

SLW-Linearachse

Präzise Zahnriemenachsen

Schmier- und wartungsfreier Betrieb
Für präzise Positionier- und Verstellaufgaben
Lange Lebensdauer

ZLW-Linearachse

Whitepaper

Energieführungen für den Reinraum

In diesem Whitepaper erfahren Sie, wie Sie mit der richtigen Energieführung im Reinraum

die Anlageneffektivität steigern können
höhere Erträge der Fertigungslinien generieren
Energieführungen nachhaltiger einsetzen

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Anwendungsbeispiele unserer Kunden

Ableitfähige ESD-Energieketten und schmierfreie Lager in der Prüfung von Leiterplatten

Um Leiterplatten auf ihre fehlerfreie Funktion zu überprüfen, werden bspw. Flying Probe Tester eingesetzt. Nadeln berühren und messen unter Beschleunigungen von bis zu 15 g die Elektronikkomponenten wie etwa Platinen. Damit die Testköpfe zuverlässig mit Energie- und Daten versorgt werden, kommen im Flying Probe Tester von SPEA ableitfähige ESD-Energieketten zum Einsatz. drylin Linearlager erlauben zudem die komplett schmier- und wartungsfreie Formatverstellung, ohne die Kontamination der Elektronikkomponenten zu riskieren.

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Luftgelagerter Lineartisch für hochpräzise Verstellungen

Eine e-skin flat SKF12.4.03.01.1 als 4-facher Layer sorgt zusammen mit PVC & TPE Leitungen von igus für die zuverlässige Energieversorgung eines luftgelagerten Lineartisches.

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e-skin flat im Einsatz in einem luftgelagerten Lineartisch

Leitungsführung im Volume Pattern Generator bei über 31 Millionen Zyklen im Jahr

Die Energiezuführung in diesen Volume Pattern Generator-Anlagen muss im Reinraum trotz Dauerbetrieb absolut ruhig laufen. Hier kommt eine e-skin flat zum Einsatz.

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Energieführung am Volume Pattern Generator

Halbleiterautomationssystem

Energieketten der Serien E6 und E14 kommen bei der Produktion des Halbleiterautomationssystems Fixload zum Einsatz. Für den sensiblen Einsatzbereich der Beladeschnittstelle für 300 mm Wafer-Prozessgeräte braucht es reine Luft. Die e-ketten erfüllen die Anforderungen: sie sind verschleißfest und für Reinräume der IPA ISO Klasse 2 und 3 geeignet.